北京工业大学成功开发了定向晶须磨具和DLC纤维磨具,如砂轮、珩磨油石等。用DLC纤维代替细磨粒作为磨料,克服了现有磨具细磨粒粘结面积小、强度弱,在正常磨削条件下容易从磨具表面脱落的缺点。它具有晶须或DLC纤维定向排列并垂直于磨具磨削的优点,磨削能力强,耐磨性好,使用寿命长。晶须磨削比为2200,磨锐后为6000,磨削效率提高10倍以上。晶须磨具和DLC纤维磨具可分别磨削模具钢(HRC60)硅片,纳米级加工表面可精磨。相同的研磨工具可用于研磨,无需特殊的研磨和抛光程序。适用于各种难加工材料和硬脆材料的精密和纳米加工。